Penulen gas untuk penyingkiran lembapan dan digunakan untuk fabrikasi semikonduktor
Sesuai untuk semikonduktor elektronik, litar bersepadu berskala besar, MAMS, silikon polihabluran silikon monohabluran dan epitaksi silikon, LED, TFT, galium nitrida, silikon karbida, penyelidikan dan pembangunan saintifik, analisis eksperimen, dsb.
Ciri-ciri
● Sesuai untuk nitrogen, hidrogen, oksigen, argon, helium dan ammonia. Gas mentah tidak kurang daripada 99.999%. ● Penyingkiran dalam kekotoran O2, H2O, CO, CO2, H2, N2, CH2 dan NMHC kepada 1ppB / 10ppB. ● Penjanaan semula penjerapan berselang dua menara, pemangkinan menara tunggal, penjerapan Pengambil terminal, operasi berterusan automatik. ● Kelengkapan paip keluli tahan karat kelas EP 316L yang digilap. ● Dengan penapis 0.003 m, kadar penyingkiran boleh mencapai 99.999999% /99.99999%. ● Siemens PLC boleh disambungkan ke sistem DCS. ● Fungsi penggera keselamatan adalah sempurna. ● Perkhidmatan awan jauh tersedia. ● Pengeluaran dan pemasangan dalam persekitaran yang sangat bersih. ● Kapasiti gas 10-20000nm3 /j. |  |
