
Bekalan pengeluar pembersih gas industri Pemasangan penulen nitrogen di tapak
● Analisis eksperimen, penyelidikan dan pembangunan saintifik.
● Pembuatan litar bersepadu, MAMS.
● Silikon kristal tunggal, polisilikon dan epitaksi silikon Led rendah, TFT.
● Galium nitrida, silikon karbida, dsb.
● Pembersihan gas, kimpalan.
● Pembersih ammonia digunakan di institut penyelidikan saintifik.
● Penapis hidrogen terminal kecil untuk syarikat instrumen berteknologi tinggi.
Bekalan pengeluar pembersih gas industri Pemasangan penulen nitrogen di tapak
Ciri-ciri
● Gunakan pada suhu bilik. | ![]() |
Parameter Jadual
8NPJadual parameter model konvensional siri | ||||||||||||
Gas terpakai | N2, H2, O2, Ar, He, NH3, SiH4, HCL | |||||||||||
Kapasiti pemprosesan (L/min) | 5 | 10 | 20 | 30 | 50 | 100 | 150 | 200 | 300 | 500 | 800 | 1000 |
Panjang (mm) | 120 | 150 | 225 | 220 | 200 | 385 | 500 | 360 | 508 | 760 | 600 | 716 |
diameter | 2' | 2.5' | 3' | 4' | ||||||||
Penyambung masuk/keluar | 1/4 VCR | 1/2 VCR | ||||||||||
Tekanan kerja (Mpa) | 1 | |||||||||||
Perbezaan tekanan gas maksimum (Mpa) | 0.1 | |||||||||||
Indeks pemurnian | Kekotoran tunggal<1ppb | |||||||||||
hayat perkhidmatan | Enam bulan (kembali ke kilang untuk penjanaan semula) | |||||||||||
ØModel OSpecial boleh disesuaikan mengikut keperluan pelanggan. |
Jadual parameter model konvensional siri 9NP | ||||||||||||
Gas terpakai | N2, H2, O2, Ar, He, NH3, SiH4, HCL | |||||||||||
Kapasiti pemprosesan (L/min) | 5 | 10 | 20 | 30 | 50 | 100 | 150 | 200 | 300 | 500 | 800 | 1000 |
Panjang (mm) | 130 | 180 | 275 | 260 | 380 | 500 | 435 | 550 | 780 | 600 | 900 | 1100 |
diameter | 2' | 2.5' | 3' | 4' | 6' | |||||||
Penyambung masuk/keluar | 1/4 VCR | 1/2 VCR | ||||||||||
Tekanan kerja (Mpa) | 1 | |||||||||||
Perbezaan tekanan gas maksimum (Mpa) | 0.1 | |||||||||||
Indeks pemurnian | Kekotoran tunggal<0.1ppb | |||||||||||
hayat perkhidmatan | Enam bulan (kembali ke kilang untuk penjanaan semula) | |||||||||||
ØModel OSpecial boleh disesuaikan mengikut keperluan pelanggan. |